電子行業(yè),特別迅速發(fā)展的亞微米工藝對生產(chǎn)場(chǎng)所空氣潔凈度要求特別高,在對潔凈度的提出更高要求
方面,電子工業(yè)是促進(jìn)前進(jìn)動(dòng)力。集成電路光刻工藝的尺寸是推動(dòng)潔凈室要求向前發(fā)展的決定因素,技術(shù)
越進(jìn)步,尺寸就越小,如果落在集成電路上的粒子大于***小尺寸的1%--2%,就會(huì )使集成電路成為廢品,金
屬粒子、離子、細菌都是生產(chǎn)廢品的元兇。空氣潔凈度的好壞直接影響電路生產(chǎn)的成品率。同時(shí),對微電
子產(chǎn)品的功能要求越高,投資規模越來(lái)越大,就對質(zhì)量水平的要求越來(lái)越嚴格,電子工業(yè)成為世界上越來(lái)
越大的工業(yè)部門(mén),預計再近年,電子激光最小的光刻尺寸可達到0.5微米。微電路存儲量可達64千兆,世
界上大部分在建的潔凈室都用于微電子工業(yè),每年建造和使用費用可達百萬(wàn)美元。
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