無(wú)塵車(chē)間性能測試和無(wú)塵車(chē)間認證有何分別？

無(wú)塵車(chē)間性能測試和無(wú)塵車(chē)間認證有何分別？

基本上無(wú)塵車(chē)間認證就是做無(wú)塵車(chē)間的性能測試，但是認證者對所測試的結果要負完全責任，要保贊測試儀器、測試程序都滿(mǎn)足NEBB規定。這話(huà)說(shuō)來(lái)簡(jiǎn)單，做起來(lái)可不容易，因為空調系統與無(wú)塵車(chē)間的設計變化很多，有些時(shí)候業(yè)主的要求也不盡相同。在不同的設計理念與不同的業(yè)主要求之下，測試的執行就有些差異。因此做無(wú)塵車(chē)間認證，首要之務(wù)是熟悉空調系統與無(wú)塵車(chē)間設計。

NEBB對無(wú)塵車(chē)間認證人員〈稱(chēng)為Cleanroom Performance Testing 

Supervisor〉的基本要求有四，一是對空調系統和無(wú)塵車(chē)間的了解，二是對相關(guān)規范的了解，三是對測試儀器與測試程序的了解，四是本身的經(jīng)驗與口碑。這些是入門(mén)的要求，通過(guò)檢定成為Supervisor之后，須受NEBB管轄，并且要時(shí)時(shí)溫習法規規范與關(guān)注新科技發(fā)展，每年向NEBB報到至少一次，兩年復檢一次資格，要求很多。

因此無(wú)塵車(chē)間性能測試誰(shuí)都可以做，只要會(huì )操作儀器就可以；但是要得到嚴謹可信賴(lài)的測試數據，就必須依靠資格符合的專(zhuān)業(yè)人士。以下資料是塵室的各項性能測試說(shuō)明，首先是測試簡(jiǎn)介，說(shuō)明一些基本概念，之后是測試程序及注意事項。至于測試的底線(xiàn)，就是數據不可更改也不可拋棄，這是不變的鐵律。 span>

無(wú)塵車(chē)間測試簡(jiǎn)介

在測試無(wú)塵車(chē)間之前，若是能對測試規范、無(wú)塵車(chē)間基本概念、無(wú)塵車(chē)間的術(shù)語(yǔ)等有些了解，對測試當有幫助。這里是一些背景資料，提供給讀者參考。

一、無(wú)塵車(chē)間測試規范

有關(guān)無(wú)塵車(chē)間定義、建造、控制、管理等等的國際標準，在網(wǎng)路上用?contamination 

control?搜尋，可以找到很多相關(guān)資料。無(wú)塵車(chē)間的定義，最早是在美國聯(lián)邦標準209上出現，之后日漸普及并廣為半導體業(yè)與制藥業(yè)接受。在歐洲與日本，隨著(zhù)工業(yè)的日益發(fā)展，各國的版本也逐漸出現。到了90年代后期，產(chǎn)業(yè)界體認到若是無(wú)共同標準，就不能實(shí)現經(jīng)濟的全球化，于是有ISO-14644的產(chǎn)生。以下說(shuō)明無(wú)塵車(chē)間的各種標準與規范。

1.     Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) 

：美國聯(lián)邦標準209E，209的出版發(fā)行，是在1960年代，之后不斷改版以因應科技進(jìn)步與工業(yè)發(fā)展，版本從原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美國正式宣布廢止209E，改用ISO-14644，于是209E在書(shū)面上走入歷史。但是在產(chǎn)業(yè)界，除了部份的歐洲公司之外，美國、日本、臺灣、與中國大陸，都還沿用209E。微粒計數器的制造商，雖然都推出滿(mǎn)足公制計數法的新機型，但是要等舊機器完全淘汰，恐怕還要很長(cháng)時(shí)間，因此新規范ISO-14644還沒(méi)能取代209E。

2.     

ISO-14644系列；美國政府為了推動(dòng)經(jīng)濟全球化，就很大方的放棄了自己的209E，改而推行全部使用公制的國際標準ISO-14644。14644系列有8個(gè)子題〈Part〉，稱(chēng)為14644-1，14644-2，一直到14644-8。整個(gè)系列涵蓋了等級定義、測試與監視的規范、測試的程序方法、設計與建造、操作、以及其他的有關(guān)設備等，范圍很廣。有些主題已經(jīng)定案，如Part 

1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些連初稿都還沒(méi)有，讀者可以到ISO或IEST的網(wǎng)站上訂購。

3.     JIS B9920 (1989)：日本的潔凈標準，規定無(wú)塵車(chē)間中浮游粒子的濃度測定方式，及潔凈度的等級定義。

4.     VDI 2083 (1993)：德國的潔凈標準，規定潔凈度等級的定義方式，以及潔凈度的量測技術(shù)。

5.     Gost-R 50766 (1995)：俄國的潔凈標準，定義無(wú)塵車(chē)間的分類(lèi)與一般需求。 

以上是無(wú)塵車(chē)間等級規定，與潔凈度量測的相關(guān)標準。另外有關(guān)無(wú)塵車(chē)間污染控制〈也就是潔凈度控制〉，和環(huán)境控制〈如溫?度、震動(dòng)噪音等〉，也有一些重要的測試規范，因為這些環(huán)境影響因素，都包含在無(wú)塵車(chē)間性能測試的范圍之內。

1.     IEST-RP-CC-006.2：這本有名的測試規范，目的就是為了補209的不足。209只有微粒量測，006 

包括了風(fēng)速風(fēng)量、濾網(wǎng)泄漏、潔凈度、溫?度、平行度、恢復率、粒子沉降測試、照度等。006 的第一版稱(chēng)為006-84-T，006.2是第二版。現在由于 NEBB 

的興起，0062已經(jīng)功成身退，逐漸消失了。

2.     NEBB 無(wú)塵車(chē)間測試規范第二版：這是目前最廣為流行的測試規范，提到無(wú)塵車(chē)間認證，就非 NEBB 莫屬。NEBB 

無(wú)塵車(chē)間測試規范，可說(shuō)是IEST-0062的改良版，其測試涵蓋范圍差不多，但是測試程序更為清楚嚴謹，儀器使用也有詳細規定。因此 NEBB 

無(wú)塵車(chē)間測試規范的出現，解決了不少測試的爭議，也因此 NEBB 無(wú)塵車(chē)間測試規范成功的成為產(chǎn)業(yè)標準。有關(guān) NEBB，請參照本站 NEBB。

3.     ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三個(gè)子題，是有關(guān)無(wú)塵車(chē)間里面生物污染的控制，目前都只有初稿。 

每一種行業(yè)，甚至每一家公司或工廠(chǎng)，對無(wú)塵車(chē)間的要求可能都不一樣。以上所列無(wú)塵車(chē)間定義與無(wú)塵車(chē)間測試規范，雖然以可滿(mǎn)足大部份廠(chǎng)商的需求，但是嚴格來(lái)講，這些規范也只是一個(gè)參考。各公司在訂定測試規格時(shí)，應依照自己的制程需求，在上述規范里取出自己適用的部份，并要求供應商與測試單位照辦，必要時(shí)可以酌情修改測試標準，才能真正滿(mǎn)足自己的需求。

二、無(wú)塵車(chē)間常用名詞 

1.     

無(wú)塵車(chē)間定義：無(wú)塵車(chē)間是一個(gè)為了對空間內空氣中的微粒做控制，所建造的特殊封閉性建筑。一般而言，無(wú)塵車(chē)間也會(huì )對溫?度、氣流運動(dòng)模式、與震動(dòng)噪音等環(huán)境因素做控制。

2.     

微粒控制：無(wú)塵車(chē)間微粒控制的第一步，是把室內微粒對制程影響的程度做完整分析，然后針對分析結果，訂定恰當的微粒控制方式與無(wú)塵車(chē)間管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影響分析時(shí)，必須特別注意數據的量化，也就是粒徑與其數量對制程的影響，才是有用的數據。

3.     外來(lái)污染源：從無(wú)塵車(chē)間外進(jìn)入系統的污染源，外來(lái)污染源主要是由空調通風(fēng)系統所導入，另外門(mén)、窗、墻壁裂縫等也是外來(lái)污染源的成因。

4.     內部污染源：無(wú)塵車(chē)間內部產(chǎn)生污染的來(lái)源，一般是制程機器與操作員工，最嚴重的內部污染源一般是操作員工。

5.     隔離：隔離是污染控制的一種觀(guān)念，也就是讓污染源隔絕在無(wú)塵區域之外。這種觀(guān)念多應用在高潔凈度的無(wú)塵環(huán)境，例如 Class 100，Class 

10，Class 1等高濾網(wǎng)覆蓋率的無(wú)塵車(chē)間，或是使用迷你潔凈室將機臺整個(gè)包住。

6.     稀釋?zhuān)合♂屖俏廴究刂频牧硪环N觀(guān)念，多應用在潔凈度不高的無(wú)塵車(chē)間。例如在 Class 

10000的無(wú)塵車(chē)間，因為換氣量不大，制程與人員產(chǎn)生的粒子就會(huì )在室內打轉，要比較常的時(shí)間才會(huì )排出。因此新的干凈空氣只能稀釋室內的微粒濃度，讓室內潔凈度控制在某一等級之下就可以了，部要求把人員與制程隔開(kāi)。使用稀釋法作為粒控制時(shí)，要特別注意本節第二條微粒影響分析的正確性，能掌握微粒的產(chǎn)生速率，才能有效的稀釋微粒。

7.     

氣流模式：指的是流場(chǎng)型態(tài)，氣流分布，氣流的流向等性質(zhì)。由于微粒的移除完全掌握在氣流的模式，因此愈潔凈的無(wú)塵車(chē)間或是無(wú)塵區域，對氣流模式的掌控就愈重視。基本上要先掌握氣流模式，才能掌握潔凈度。

8.     單一流向型氣流：氣流以同一個(gè)方向移動(dòng)，這種無(wú)塵車(chē)間稱(chēng)為單一流向型無(wú)塵車(chē)間，以前稱(chēng)為層流型無(wú)塵車(chē)間，定義并無(wú)多大改變。高潔凈度無(wú)塵車(chē)間需要單一流向型氣流。

9.     非單一流向型氣流：氣流方向不受控制，就是所謂的亂流型無(wú)塵車(chē)間，潔凈度較低的無(wú)塵車(chē)間都是用非單一流向型氣流以節省成本。

10. As-built cleanroom（剛完工的無(wú)塵車(chē)間）：已經(jīng)完成且可以操作，所有相關(guān)支援設施皆已完成的，但并沒(méi)有設備及操作設備的人員。

11. At-rest 

cleanroom（準備中的無(wú)塵車(chē)間）：已經(jīng)完成且可以操作，所有相關(guān)支援設施皆已動(dòng)作的無(wú)塵車(chē)間，設備已載入并可以操作或已在運轉，1如所指定，但沒(méi)有操作設備的人員。

12. Operational 

cleanroom（操作中的無(wú)塵車(chē)間設施）：一個(gè)已在正常運轉的無(wú)塵車(chē)間，所有相關(guān)支援設施皆已動(dòng)作，設備及人員皆已載入，運轉狀況可以呈現和達到其正常的功能。 

三、無(wú)塵車(chē)間等級定義 

無(wú)塵車(chē)間的等級 

使用者在開(kāi)無(wú)塵車(chē)間的等級給供應商時(shí)，有以下幾個(gè)小技巧。首先是等級定義的模式如下： 

Class X (at Y μm ) 

其中 X 是無(wú)塵車(chē)間的等級，例如 100 或 10000 等等，Y是粒徑如 0.2μm , 0.5μm 

等，可復選。意思就是使用者規定，該無(wú)塵車(chē)間微粒含量，在這些粒徑必須滿(mǎn)足該等級的限度。這樣可以減少紛爭，以下是幾個(gè)例子：

Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm) 

Class 100(0.2μm , 0.5μm ) 

Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm ) 

在 Classes 100 (M3.5) and Greater  (Class 100，1000，10000....) ，一般看一個(gè)粒徑即可。在 

Classes Less than 100 (M3.5)  (Class 10，1.... ) ，一般要看多幾個(gè)粒徑。 

第二個(gè)技巧是規定無(wú)塵車(chē)間的狀態(tài)，例如：

Class X (at Y μm )， At-rest 

供應商就很清楚知道無(wú)塵車(chē)間要在 At-rest狀態(tài)下驗收。

第三個(gè)技巧是自訂微粒濃度上限，一般在 As-built 時(shí)無(wú)塵車(chē)間都很干凈，微粒控制能力測試不易，這時(shí)可以干脆把驗收上限壓低，例如：

Class 10000 (0.3 μm <= 10000)， As-built 

Class 10000 (0.5 μm <= 1000)， As-built 

這樣做的目的是確保無(wú)塵車(chē)間在 Operational 狀態(tài)時(shí)，依然有足夠的微粒控制能力。

以下兩個(gè)表是 Fed-Std-209E 的等級定義，和ISO-14644的等級定義。

Fed-Std-209E 潔凈度定義 

      Class NameClass Limits 

      0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm 

      Volume Units Volume UnitsVolume Units Volume Units Volume Units 

      SI U.S. (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) 

      M 1   350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - - 

      M 1.5 1 1,240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - - 

      M 2   3,500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 - - 

      M 2.5 10 12,400 350 2,650 75.0 1,060 30.0 353 10.0 - - 

      M 3   35,000 991 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3 - - 

      M 3.5 100 - - 26,500 750 10,600 300 3,530 100 - - 

      M 4   - - 75,700 2140 30,900 875 10,000 283 - - 

      M 4.5 1,000 - - - - - - 35,300 1,000 247 7.00 

      M 5   - - - - - - 100,000 2,830 618 17.5 

      M 5.5 10,000 - - - - - - 353,000 10,000 2,470 70.0 

      M 6   - - - - - - 1,000,000 28,300 6,180 175 

      M 6.5 100,000 - - - - - - 3,530,000 100,000 24,700 700 

      M 7   - - - - - - 10,000,000 283,000 61,800 1,750 

ISO-14644 潔凈度定義 

      ISO classification number(N) Maximum concentration limits (particles/m3 of 

      air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown 

      below (concentration limits are calculated in accordance with equation 

      (1). 

      0.1 mm 0.2 mm 0.3 mm 0.5 mm 1 mm 5 mm 

      ISO Class 1 10 2         

      ISO Class 2 100 24 10 4     

      ISO Class 3 1 000 237 102 35 8   

      ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83   

      ISO Class 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29 

      ISO Class 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293 

      ISO Class 7       352 000 83 200 2 930 

      ISO Class 8       3 520 000 832 000 29 300 

      ISO Class 9       35 200 000 8 320 000 293 000 

      NOTE  Uncertainties related to the measurement process requires that 

      concentration data with no more then three significant figures be used in 

      determining the classification level.

      Equation (1): Cn = 10N X (0.1/D)2.08 其中Cn是微粒濃度，N 是潔凈度，D 是粒徑

比較以上兩表我們可看出

1.     209E 的公制和英制兩套標準，雖然有公式做互換，但是仍究很難一眼看出其相關(guān)性。兩制放同一表，徒然造成混淆

2.     在兩表中 0.5 mm 幾乎出現在每一個(gè)等級定義中，表示粒徑 0.5 mm 的粒子非常具有代表性

3.     在潔凈度的分類(lèi)上，不管是在高潔凈度，或是低潔凈度， ISO-14644 的范圍比 209E 都來(lái)的廣，因此具有未來(lái)性

四、無(wú)塵車(chē)間測試范圍 

凡是和無(wú)塵車(chē)間環(huán)境控制有關(guān)的因素，都在無(wú)塵車(chē)間認證的范圍之內。在完工之前，業(yè)主、施工單位、與測試單位‧應就以下幾個(gè)主題做詳細討論并達成協(xié)議，以利測試進(jìn)行。

1.     待測無(wú)塵車(chē)間涵蓋范圍、等級、面積、濾網(wǎng)位置、與數量 

2.     測試的目的 

3.     測試程序 

4.     使用儀器 

5.     測試報告撰寫(xiě)方式與內容 

6.     工期

   

在測試前，將以上項目定義清楚，可以使測試順利進(jìn)行，發(fā)現問(wèn)題時(shí)也可以盡快排除，對業(yè)主和施工單位都有利。

IEST-0062 有一個(gè)表說(shuō)明測試項目，以及適用狀態(tài)，具有相當參考價(jià)值表列如下。

IEST-RP-CC006.2 Table 1   

      章節測試項目單一流向型 非單一流向型 混合型 

      6.1 風(fēng)量與均勻度

      風(fēng)速與均勻度 1,2,3 

      1,2,3 1,2,3 

      OPT 1,2,3 

      OPT 

      6.2 濾網(wǎng)泄漏 1,2 1,2 1,2 

      6.3 潔凈度 1,2,3 1,2,3 1,2,3 

      6.4 壓力 1,2 1,2,3 1,2,3 

      6.5 平行度 1,2 N/A OPT (1,2 only) 

      6.6 空間泄漏 1,2 1,2 1,2 

      6.7 恢復率 N/A 1,2 1,2 

      6.8 粒子沉降測試 1,2,3 1,2,3 1,2,3 

      6.9 照度 1,OPT(2,3) 1,OPT(2,3) 1,OPT (2,3) 

      6.10 噪音 1,2,3 1,2,3 1,2,3 

      6.11-6.13 溫?度 1,2,2 

      OPT 1,2,3 

      OPT 1,2,3 

      OPT 

      6.14 振動(dòng) OPT OPT OPT 

測試的順序沒(méi)有硬性規定，但是仍舊存在某些比較理想的順序

         

        1: 測試適用于 As-built 狀態(tài) 

        2: 測試適用于 At-rest 狀態(tài)

        3: 測試適用于 Operational 狀態(tài)  

        N/A: 代表該測試在該狀態(tài)下?不適用?

        OPT: 代表該測試在該狀態(tài)下為?選擇性測試?，可以視制程需求而定 

由上表可看出，風(fēng)量測試〈使用氣罩〉適用任何狀態(tài)，因為不易受干擾。風(fēng)速量測，在非單一流向型〈亂流型〉無(wú)塵車(chē)間就不推薦，因為容易受干擾。當然這是 IEST 

的建議，我們可以自行決定。

至于測試的項目選擇，NEBB 建議：依重要性分成三級，說(shuō)明如下。

第一級〈Level I〉: 第一級測試是所謂的主要測試，與潔凈度直接有關(guān)的測試都屬第一級，每個(gè)無(wú)塵車(chē)間都應至少應做的測試。第一級測試項目包括：

A. 風(fēng)速量測

B. 風(fēng)量量測

C. 前兩項的均勻度分析

D. 濾網(wǎng)泄漏測試

E. 潔凈度測試

F. 壓力量測

第二級〈Level   II〉: 第二級測試，雖然也是與潔凈度與氣流有關(guān)，但是只有在特殊情況下才需要進(jìn)行。

A. 氣流平行度量測〈只適用層流型無(wú)塵車(chē)間〉

B. 空間泄漏測試〈幾乎已被壓差測試取代〉

C. 恢復率測試〈依建議只適用亂流型無(wú)塵車(chē)間〉

D. 粒子沉降測試〈近年來(lái)已經(jīng)很少做〉

第三級〈Level   III〉: 第三級測試就與氣流無(wú)關(guān)，都是屬于環(huán)境因素。

A. 照度與其均勻度

B. 噪音測試

C. 振動(dòng)測試

D. 溫?度測試

這里說(shuō)明 NEBB 所要求無(wú)塵車(chē)間性能測試的各項測試程序，當然這些程序是 NEBB 所認定的基本要求，業(yè)主可視狀況自行修改。NEBB 

唯一的要求是，若是修改后的程序比較寬松，就不能說(shuō)是符合 NEBB 標準。

2.1 氣流量測

無(wú)塵車(chē)間內的氣流控制，是維持潔凈度的關(guān)鍵，因此高效濾網(wǎng)〈HEPA 

Filter〉的出口速度控制，是非常重要的課題。由于濾網(wǎng)速度關(guān)系著(zhù)空氣流場(chǎng)型態(tài)、微粒控制能力、換氣量與平行度等，因此無(wú)塵車(chē)間的氣流量測，是無(wú)塵車(chē)間認證的第一步。經(jīng)由數據分析，可察覺(jué)問(wèn)題所在，再對無(wú)塵車(chē)間做細微的調整，使性能達到要求。

本章說(shuō)明無(wú)塵車(chē)間氣流量測的步驟，分為速度與均勻度量測，風(fēng)量與均勻度量測，平行度量測等三部份。量測程序與數據分析，都是依照 NEBB 的標準。

一、濾網(wǎng)速度與均勻度量測

1‧測試目的 

氣流是控制潔凈度與溫?度的最主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風(fēng)速量測，都是放在無(wú)塵車(chē)間測試的第一步。風(fēng)速量測的目的，是確認濾網(wǎng)送出的氣流滿(mǎn)足設計規范，其次是確認氣流的均勻度。在某些場(chǎng)合可能因現場(chǎng)的限制，室內換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來(lái)?yè)Q算。

單一流向型無(wú)塵車(chē)間，很多都是設計成垂直層流，因此風(fēng)速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單一流向型無(wú)塵車(chē)間，由于微粒控制的觀(guān)念是稀釋?zhuān)皇橇⒓磁懦话愣云鋼Q氣量遠比風(fēng)速重要，因此多只需要量測風(fēng)量。 

在單一流向型無(wú)塵車(chē)間，風(fēng)速量測的位置可由業(yè)主指定，一般是在濾網(wǎng)表面或是工作高度。但是需注明是濾網(wǎng)風(fēng)速量測（濾網(wǎng)表面）或是無(wú)塵車(chē)間室內風(fēng)速量測（工作高度）。

2‧使用儀器 

無(wú)塵車(chē)間里面使用的 HEPA/ULPA 濾網(wǎng)，其送出氣流的速度多半都控制在 0.5m/s 

以?xún)龋虼怂褂玫娘L(fēng)速計必須屬于低速型。濾網(wǎng)風(fēng)速量測可使用單點(diǎn)式風(fēng)速計如電子式壓力計配合皮氏管、熱線(xiàn)式風(fēng)速計。也可以使用多點(diǎn)式風(fēng)速計如 Shortridge 

Velgrid 16 點(diǎn)風(fēng)速計。輪葉式風(fēng)速計因使用范圍不同，通常不在無(wú)塵車(chē)間內使用。熱線(xiàn)式風(fēng)速計（Hot Wire）雖然高頻響應良好，但是低速時(shí)〈0.5m/s 

以下〉準確性很低，因此不很適用，一般熱反應風(fēng)速計常用的是 Thermeister 式風(fēng)速計。轉輪式風(fēng)速計由于本身重量問(wèn)題，也不適用低速。NEBB 的要求是在 

50fpm 到 120fpm 之間〈0.25 m/s 到 0.6 m/s〉，要有? ±5 percent of the reading ?的精確度。

檢驗儀器須經(jīng)校正合格，且仍在有效期限內。于正式檢測前及繳交報告時(shí)均須檢附合格的校正文件。

3‧測試步驟

(1)    在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數量并編號。

(2)    取樣點(diǎn)位于濾網(wǎng)下方75-150mm處。 

(3)    

每一個(gè)濾網(wǎng)下，若是使用單點(diǎn)式風(fēng)速計，則每1平方英尺取一點(diǎn)；若是使用多點(diǎn)式風(fēng)速計，則每4平方英尺取一點(diǎn)。以600┨×1200┨濾網(wǎng)為例，單點(diǎn)式風(fēng)速計要量8點(diǎn)；多點(diǎn)式風(fēng)速計要量2點(diǎn)。 

(4)    每量測點(diǎn)必須取5秒的平均。 

(5)    依驗收標準分析所有風(fēng)速，計算平均值、標準差、相對標準差，并標明不合格測試點(diǎn)。 

(6)    記錄所有原始數值，以及分析后的數值。 

風(fēng)速量測的測試步驟，在單一流向型或非單一流向型無(wú)塵車(chē)間都相同。重要的是在非單一流向型無(wú)塵車(chē)間測試時(shí)，特別注意取樣時(shí)風(fēng)速計不可受到干擾，以免影響準確度。

4‧數據分析

風(fēng)速量測很簡(jiǎn)單，但是均勻度必須由數據分析來(lái)判定。均勻度是由相對標準差來(lái)代表，其計算步驟如下。 

  

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