控制無(wú)塵車(chē)間空氣參數的目的—檢查無(wú)塵車(chē)間是否符合給定的潔凈度級別。無(wú)論是在投產(chǎn)調試工作完成后的無(wú)塵車(chē)間檢測階段，還是無(wú)塵車(chē)間使用階段都要完成空氣參數的控制工作。在各種標準和建議中都詳細地制訂了和提出了無(wú)塵車(chē)間空氣參數的測試和控制方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在無(wú)塵車(chē)間內，按其用途的不同應控制下列參數：
1、測試狀態(tài)的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風(fēng)速和單向性（對單向氣流而言）
4、風(fēng)量和換氣次數
5、最終過(guò)濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、無(wú)塵車(chē)間的密閉性
8、無(wú)塵車(chē)間表面的潔凈度
測試狀態(tài)的確定：根據設計要求，一般無(wú)塵車(chē)間都是對無(wú)塵車(chē)間內的空氣進(jìn)行靜態(tài)檢測，一般不做動(dòng)態(tài)檢測，如需動(dòng)態(tài)檢測，需要制定或參照其他標準。
潔凈度級別
無(wú)塵車(chē)間和潔凈區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的最大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔凈度級別和空氣潔凈度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，的潔凈級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的最大允許濃度確定的。
在確定實(shí)際無(wú)塵車(chē)間的潔凈度級別時(shí)，應對粒徑≥閥值的粒子進(jìn)行統計，下面的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和最常見(jiàn)值D的粒子最大允許濃度
|
ISON級 |
粒子最大允許濃度Cn顆m3，粒徑≥下列值，微米 |
|||||
|
0.1 |
0.2 |
0.3 |
0.5 |
1.0 |
5.0 |
|
|
ISO 1級 |
10 |
2 |
- |
- |
- |
- |
|
ISO 2級 |
100 |
24 |
10 |
4 |
- |
- |
|
ISO 3級 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
- |
|
ISO 4級 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
- |
|
ISO 5級 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
|
ISO 6級 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
|
ISO 7級 |
- |
|
|
352000 |
83200 |
2930 |
|
ISO 8級 |
- |
|
|
3520000 |
832000 |
29300 |
|
ISO 9級 |
- |
|
|
35200000 |
8320000 |
293000 |
|
備注：濃度值Cn應四舍五入，小數點(diǎn)后保留三位，在實(shí)際情況下粒子濃度的實(shí)際誤差是存在的，求不出精度很高的濃度。 |
||||||
ISO 4級；靜態(tài)；給定粒徑0.5微米（352粒子/m3）。
ISO 5級；靜態(tài)；給定粒徑0.5微米（3520粒子/m3）；5.0微米（29粒子/m3）。
因此，在測試具體的無(wú)塵車(chē)間的相應潔凈度級別時(shí)，不需要檢測如上表所示的該級別的所有粒子粒徑。而只要檢測為該種無(wú)塵車(chē)間給定的粒子粒徑。
在檢測無(wú)塵車(chē)間的潔凈度級別時(shí)，應測定無(wú)塵車(chē)間內1點(diǎn)或數點(diǎn)的懸浮粒子濃度（即取樣點(diǎn)的粒子濃度）。
因此必須滿(mǎn)足下列要求
1）確認無(wú)塵車(chē)間的狀態(tài)與給定的相符；
2）確定給定粒徑，無(wú)塵車(chē)間取樣點(diǎn)的數量和位置；
3）確定每一取樣點(diǎn)的取樣數量；
4）確定對每一種給定粒徑在每1取樣點(diǎn)上，每1次取樣的取樣量和取樣時(shí)間；
5）取樣之后應對每一種給定粒徑的粒子進(jìn)行相應統計；
6）將取樣數據填入按各種給定粒徑統計的粒子統計記錄表內（適于采用無(wú)計算機軟件的粒子計數器的場(chǎng)合下）；
7）整理取得的數據；
8）對結果進(jìn)行分析；
9）整理方案確定級別應符合上表要求。
在無(wú)塵車(chē)間中的氣流：
氣流風(fēng)速（通常是控制單向氣流的風(fēng)速）
氣流均勻性（單向氣流風(fēng)速穩定性）并目視檢查氣流。
空氣（單向氣流）的風(fēng)速和風(fēng)量
空氣單向氣流的風(fēng)速是在垂直于氣流方向的平面上并距離風(fēng)源150-500mm處測得的。
測試點(diǎn)的數量應大于被測表面面積的平方根，但不得小于3，應在每一個(gè)設定的網(wǎng)格中進(jìn)行測量，測量點(diǎn)應均勻地分布在平面上。
應在距離過(guò)濾器表面150mm處測試過(guò)濾器出口處的風(fēng)速。在評價(jià)氣流的均勻性時(shí)，應在距離過(guò)濾器表面300mm以上處測試風(fēng)速。
每1點(diǎn)的測量時(shí)間不得少于10秒。并且要確定平均值，最大和最小值。
氣流的均勻性
根據在垂直于空氣運動(dòng)方向的平面上各點(diǎn)的風(fēng)速測試數據，評價(jià)單向氣流的均勻性，建議該平面應距離過(guò)濾器表面（風(fēng)口）300毫米以上。
平面上各點(diǎn)處的風(fēng)速相差不得超過(guò)20%-30%。
檢驗過(guò)濾器的整體性
最終過(guò)濾器（HEPA，ULPA過(guò)濾器）是無(wú)塵車(chē)間的重要部分。這些過(guò)濾器安設在無(wú)塵車(chē)間的吊頂和墻上，裝在設備和風(fēng)管內。應進(jìn)行泄漏檢查，以控制過(guò)濾器的整體性，過(guò)濾器的滲漏意味著(zhù)粒子的滲漏，會(huì )超過(guò)ГOCTP5125-99。(原文 )
制造商應在廠(chǎng)內對過(guò)濾器作最大穿透粒徑試驗，附過(guò)濾器檢測報告，現場(chǎng)不做檢漏。
溫度的檢測
在無(wú)塵車(chē)間內采用兩種方法控制溫度：
一般控制
特殊控制
（一般控制）在通風(fēng)空調系統投產(chǎn)-調試時(shí)，以及在無(wú)塵車(chē)間檢測的各個(gè)階段和使用階段均要進(jìn)行溫度的一般控制。
規定工作席工作區高度處的溫度，以及必要時(shí)，其他工作點(diǎn)的溫度都要加以控制。
在1小時(shí)或更多一些的時(shí)間內應周期性的連續測試6分鐘。
相對濕度的控制
待通風(fēng)空調系統工作穩定后，相對濕度的控制可與溫度的測量同時(shí)進(jìn)行。
至少在每一處對相對濕度有要求的區域內設1個(gè)點(diǎn)進(jìn)行相對濕度的測量，為了使傳感器持續穩定，測量的持續時(shí)間不得少于6分鐘。
潔凈實(shí)驗室技術(shù)指標
|
序號 |
房間名稱(chēng) |
面積 |
潔凈度 |
對外 壓差 |
溫度 |
濕度 |
照度 |
新風(fēng) |
排風(fēng) |
|
|
M2 |
級 |
Pa |
℃ |
%RH |
Lux |
% |
||||
|
1 |
萬(wàn)級鑒定室1 |
23 |
7（萬(wàn)） |
+20 |
20-26 |
40-70 |
300 |
30 |
無(wú) |
|
|
2 |
萬(wàn)級鑒定室2 |
16 |
7（萬(wàn)） |
+20 |
20-26 |
40-70 |
300 |
30 |
無(wú) |
|
|
3 |
萬(wàn)級鑒定室3 |
10.3 |
7（萬(wàn)） |
+20 |
20-26 |
40-70 |
300 |
30 |
無(wú) |
|
|
4 |
緩沖間 |
6 |
7（萬(wàn)） |
+15 |
20-26 |
40-70 |
200 |
30 |
無(wú) |
|
|
5 |
準備間 |
2.6 |
無(wú) |
0 |
20-26 |
40-70 |
200 |
30 |
無(wú) |
|
|
（2）百級、千級實(shí)驗室 |
||||||||||
|
1 |
百級實(shí)驗室2 |
15.00 |
5（百） |
+20 |
20-26 |
40-70 |
300 |
30 |
無(wú) |
|
|
2 |
百級實(shí)驗室1 |
6.10 |
5（百） |
+20 |
20-26 |
40-70 |
300 |
30 |
無(wú) |
|
|
3 |
千級實(shí)驗室2 |
18.20 |
6（千） |
+15 |
20-26 |
40-70 |
300 |
30 |
無(wú) |
|
|
4 |
千級實(shí)驗室1 |
15.70 |
6（千） |
+15 |
20-26 |
40-70 |
300 |
30 |
無(wú) |
|
|
5 |
千級潔凈 走 廊 |
11.40 |
6（千） |
+10 |
20-26 |
40-70 |
250 |
30 |
無(wú) |
|
|
6 |
千級潔凈 準備間 |
|
7（萬(wàn)） |
+10 |
20-26 |
40-70 |
250 |
30 |
無(wú) |
|
|
6 |
更衣間 |
10.40 |
7（萬(wàn)） |
+10 |
20-26 |
|
200 |
30 |
無(wú) |
|
格式1（式樣）
記錄書(shū)
工段， 無(wú)塵車(chē)間取樣
取樣時(shí)期
房間狀態(tài)
（空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)）
給定潔凈度級別
給定閥徑粒徑，微米
粒子的最大允許濃度，粒子/m3
取樣量，升
取樣時(shí)間，分鐘
取樣點(diǎn)數量r
每1取樣點(diǎn)上的取樣次數，P
粒子計數器
取樣點(diǎn)位置示意圖
|
取樣點(diǎn)編號 |
1m3空氣中的粒子數或濃度，其粒徑為 |
|
|
≥0.5 |
≥5.0 |
|
|
1 |
|
|
|
2 |
|
|
|
3 |
|
|
|
4 |
|
|
|
5 |
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| |
