1、潔凈室靜電庫侖力

　　在靜電庫侖力的作用下，吸附的粉塵、污物造成元器件增大泄漏或形成短路，使性能受損，成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm，鋁線(xiàn)寬度約100μm，氧化膜厚度在50μm時(shí)，最易使產(chǎn)品報廢。現在線(xiàn)徑更細，氧化膜很薄，粒徑很小的塵粒子就會(huì )損害元器件，這種情形多發(fā)生在腐蝕清洗、光刻、點(diǎn)焊和封裝等工藝過(guò)程中。

　　2、靜電放電ESD

　　(1)元器件的絕緣氧化膜被擊穿，引線(xiàn)被燒斷或線(xiàn)間熔斷。若人體帶上10KV(100PF)的靜電荷，觸摸器件腳時(shí)發(fā)生ESD，其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值可達20A(10——100s)，不要說(shuō)高密度，細線(xiàn)徑，薄SiO2膜的Lsi、Vlsi，就是一般IC、MOS都會(huì )遭受損壞。

　　一般說(shuō)器件絕緣柵SiO2薄膜的耐壓場(chǎng)強是E=(5-10)×106V/cm，如果器件SiO2膜厚度取1000，其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會(huì )被擊穿，而人體帶靜電超過(guò)50V、100V是極平常的。

　　(2)造成噪聲、發(fā)射電磁波干擾

　　ESD引起EMI其電磁波的前后峰較尖，信號強，相當于電路中幾伏的能量，頻率跨越幾MH2甚幾百MH2的強大噪聲，可能引起元器件損壞，設備和傳感器不正常工作，甚至引起設備死機。

　　ESD引起的EMI還會(huì )引發(fā)錯誤信號的輸入，或發(fā)生鎖存現象。如無(wú)塵室中，將晶圓片的EMIF箱放在鋼的手推車(chē)上，晶圓片的ESD會(huì )通過(guò)電感傳給手推車(chē)，車(chē)輪是絕緣的，則EMI的擴散會(huì )引起晶圓片處理機死機。

　　(3)電擊人體

　　潔凈室人體的ESD或對人體的ESD當超過(guò)人體電擊極限電流5mA以上時(shí)，人都會(huì )有各種傷害感覺(jué)，造成工作人員的情緒不安，操作錯誤。

　　半導體，平面顯示器，光電子等潔凈室，盡管做了很多工作，但潔凈室的靜電問(wèn)題仍然影響著(zhù)生產(chǎn)安全和產(chǎn)品產(chǎn)量，影響著(zhù)制造成本和效益，影響產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。據國外工業(yè)專(zhuān)家估計，美國每年由于靜電造成產(chǎn)品的損失平均在8-33%，還有人估計美國每年靜電對電子工業(yè)毀損價(jià)值達100億美元;日本80年代曾對報廢的電子產(chǎn)品進(jìn)行分析，由ESD引起的損失占1/3。我國半導體、平面液晶顯示、光電子等都起步較晚，但靜電危害也時(shí)有發(fā)生，成品率較低。而銀行、證券公司、機要數據庫、監控中心，電力調度室等等，若出現ESD就很容易引起干擾，數據遺失，情形就更嚴重了