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新國家標準的實(shí)施,使我國清潔技術(shù)邁出了新的

發(fā)布日期:2020-07-30 08:36 瀏覽次數:

潔凈生產(chǎn)環(huán)境(潔凈廠(chǎng)房、潔凈室)先后使用過(guò)無(wú)塵室、無(wú)窗廠(chǎng)房、密閉廠(chǎng)房、空氣懸浮粒子受控的房間等概念。層流手術(shù)室手術(shù)室是采用空氣潔凈技術(shù)對微生物污染采取程度不同的控制,達到控制空間環(huán)境中空氣潔凈度適于各類(lèi)手術(shù)之要求;并提供適宜的溫、濕度,創(chuàng )造一個(gè)潔凈舒適的手術(shù)空間環(huán)境。由于手術(shù)室要嚴格控制低細菌數及低麻醉氣體濃度,所以層流超凈裝置的穩定性是層流凈化手術(shù)室的重要驗收指標。手術(shù)室凈化確保手術(shù)臺潔凈度達標,一般多采用垂直層流式效果較好 層流手術(shù)室是一個(gè)"正壓"環(huán)境,其空氣壓力根據其不同區域(如手術(shù)間、無(wú)菌準備間、刷手間、麻醉間和周?chē)蓛魠^域等)潔凈度不同要求而不同。潔凈手術(shù)室按不同專(zhuān)科,手術(shù)間又可分為普外、骨科、婦產(chǎn)科、腦外科、心胸外科、泌尿外科。燒傷科、五官科等手術(shù)間。由于各專(zhuān)科的手術(shù)往往需要配置專(zhuān)門(mén)的設備及器械,因此,專(zhuān)科手術(shù)的手術(shù)間宜相對固定。潔凈廠(chǎng)房的設計建造和使用應做到不引入或少引入微粒,不產(chǎn)生或少產(chǎn)生微粒,不滯留或少滯留微粒。此外,潔凈廠(chǎng)房還對溫度、濕度、壓力等參數按產(chǎn)品生產(chǎn)要求進(jìn)行控制。而根據產(chǎn)品生產(chǎn)要求需對潔凈室內的氣流分布、氣流速度以及噪聲、振動(dòng)、靜電等進(jìn)行控制。  

產(chǎn)品生產(chǎn)促進(jìn)清潔技術(shù)的發(fā)展

隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和產(chǎn)品生產(chǎn)的更新,特別是軍工、電子、航天、生物醫學(xué)等行業(yè)的發(fā)展,國內外清潔技術(shù)的發(fā)展也在不斷變化。現代工業(yè)產(chǎn)品和現代科學(xué)實(shí)驗需要小型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性。以小型化為例,計算機已經(jīng)從放置在幾個(gè)房間里的巨大單元發(fā)展到今天的便攜式筆記本。同時(shí),它所使用的電子元件也從電子管到半導體分立器件,再到集成電路和大規模集成電路;集成電路的線(xiàn)寬也從幾微米發(fā)展到今天的45納米。這些新的科技產(chǎn)品要求有嚴格的清潔生產(chǎn)環(huán)境。清潔技術(shù)是以產(chǎn)品生產(chǎn)日益嚴格的要求為基礎,對清潔生產(chǎn)環(huán)境中污染物的控制、控制方法和控制設施。

潔凈技術(shù)是一門(mén)綜合技術(shù),其核心技術(shù)包括生產(chǎn)工藝技術(shù)及其工藝設計、空氣凈化、潔凈建筑以及各類(lèi)產(chǎn)品生產(chǎn)所需的專(zhuān)業(yè)技術(shù)(如微電子產(chǎn)品生產(chǎn)所需的高純物質(zhì)高純水、高純氣、高純化學(xué)品的相關(guān)專(zhuān)業(yè)技術(shù)等)。這些專(zhuān)業(yè)技術(shù)在潔凈室設計中都是不可缺少的,它們必須密切配合,圍繞著(zhù)產(chǎn)品生產(chǎn)的需要,相互協(xié)調、統籌安排。潔凈廠(chǎng)房的設計和建造就是要在做好各相關(guān)專(zhuān)業(yè)設計的基礎上,做好各項安全設施消防、防火、防爆、安全報警,確保潔凈室的安全運行。與此同時(shí),它還要處理好電源、冷源、熱源等動(dòng)力供應,節約能源;安排好各類(lèi)配管配線(xiàn),確保各種流體介質(zhì)的輸送質(zhì)量,減少材料消耗,方便施工安裝和運行維護。  

微電子對清潔技術(shù)的新要求

電子產(chǎn)品,特別是微電子產(chǎn)品的生產(chǎn),取決于清潔技術(shù)的發(fā)展,或者說(shuō)清潔技術(shù)的發(fā)展是由微電子產(chǎn)品的升級推動(dòng)的。

電子產(chǎn)品潔凈室對空氣潔凈度和各種雜質(zhì)的控制有嚴格的要求。半導體集成電路制造是一項高科技制造技術(shù)。它使用高精度機械將物理,化學(xué),電子和機械技術(shù)集成到制造過(guò)程中。為了獲得高質(zhì)量和高產(chǎn)量的微電子產(chǎn)品,必須嚴格控制芯片缺陷。

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