潔凈室的檢測技巧

核心提示：1。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設計施工過(guò)程即可稱(chēng)為凈化工程。潔凈車(chē)間一個(gè)應用行業(yè)非常廣泛的基礎性配套產(chǎn)業(yè)，（21世紀）在電子信息、半導體、光電子、精密制造、醫藥衛生、生物工程、航天航空、汽車(chē)噴涂等眾多行業(yè)均有應用，并根據行業(yè)的精密與無(wú)塵要求，等級差別也較大。無(wú)菌車(chē)間大部分凈化廠(chǎng)房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠(chǎng)房都有嚴格的恒溫、恒濕的要求，不僅對廠(chǎng)房?jì)鹊臏亍穸扔袊栏竦囊螅覍囟群拖鄬穸鹊牟▌?dòng)范圍也有嚴格的要求。供氣量和排氣量2.區域之間的氣流控制3.過(guò)濾器泄漏檢測4.隔離泄漏檢測5.室內氣流控制6.懸浮顆粒濃度和微生物濃度

1。送風(fēng)量和排風(fēng)量：如果是湍流潔凈室，則需要測量送風(fēng)量和排風(fēng)量。如果是單向流動(dòng)的潔凈室，應測量風(fēng)速。

2、區與區之間的氣流控制：為了證明區與區之間的氣流方向正確，即從潔凈區到潔凈差的地區，必須檢測：每個(gè)區間的壓力差是正確的；在門(mén)或墻的開(kāi)口、地板等處，氣流方向是正確的，即從潔凈區域到潔凈較差的區域。

3.過(guò)濾器泄漏檢測：檢查高效過(guò)濾器及其外框，確保懸浮污染物不會(huì )通過(guò)：損壞的過(guò)濾器；過(guò)濾器與外框之間的間隙；過(guò)濾器單元的其他部分進(jìn)入腔室。

4.隔離泄漏檢測：該測試用于證明懸浮污染物不會(huì )通過(guò)建筑材料滲透到潔凈室。

5。室內氣流控制：氣流控制試驗的類(lèi)型取決于潔凈室的氣流流型是湍流的還是單向的。如果潔凈室的氣流是湍流的，則需要確認潔凈室內沒(méi)有氣流不足。如果是單向流潔凈室，必須驗證整個(gè)房間的風(fēng)速和風(fēng)向符合設計要求。

6、懸浮粒子濃度和微生物濃度：如果上述測試符合要求，那么最終測量出粒子濃度和微生物濃度，以確認它們符合潔凈室設計的技術(shù)條件。