無(wú)塵室測試范圍介紹

凡是和無(wú)塵室環(huán)境控制有關(guān)的因素，都在無(wú)塵室認證的范圍之內。在無(wú)塵室完工之前，業(yè)主、施工單位、與測試單位‧應就以下幾個(gè)主題做詳細討論并達成協(xié)議，以利測試進(jìn)行。

1. 待測無(wú)塵室涵蓋范圍、等級、面積、濾網(wǎng)位置、與數量
2. 測試的目的
3. 測試程序
4. 使用儀器
5. 測試報告撰寫(xiě)方式與內容
6. 工期
     

在測試前，將以上項目定義清楚，可以使測試順利進(jìn)行，發(fā)現問(wèn)題時(shí)也可以盡快排除，對業(yè)主和施工單位都有利。

IEST-0062有一個(gè)表說(shuō)明測試項目，以及適用狀態(tài)，具有相當參考價(jià)值表列如下。

IEST-RP-CC006.2 Table 1 

測試的順序沒(méi)有硬性規定，但是仍舊存在某些比較理想的順序

1:測試適用于A(yíng)s-built狀態(tài)
2:測試適用于A(yíng)t-rest狀態(tài)
3:測試適用于Operational狀態(tài) 

N/A:代表該測試在該狀態(tài)下?不適用?
OPT:代表該測試在該狀態(tài)下為?選擇性測試?，可以視制程需求而定

由上表可看出，風(fēng)量測試〈使用氣罩〉適用任何狀態(tài)，因為不易受干擾。

風(fēng)速量測，在非單一流向型〈亂流型〉無(wú)塵室就不推薦，因為容易受干擾。當然這是IEST的建議，我們可以自行決定。

至于測試的項目選擇，NEBB建議：依重要性分成三級，說(shuō)明如下。

第一級〈Level I〉:第一級測試是所謂的主要測試，與潔凈度直接有關(guān)的測試都屬第一級，每個(gè)無(wú)塵室都應至少應做的測試。

第一級測試項目包括：

A.風(fēng)速量測
B.風(fēng)量量測
C.前兩項的均勻度分析
D.濾網(wǎng)泄漏測試
E.潔凈度測試
F.壓力量測

第二級〈Level   II〉:第二級測試，雖然也是與潔凈度與氣流有關(guān)，但是只有在特殊情況下才需要進(jìn)行。

A.氣流平行度量測〈只適用層流型〉
B.空間泄漏測試〈幾乎已被壓差測試取代〉
C.恢復率測試〈依建議只適用亂流型無(wú)塵室〉
D.粒子沉降測試〈近年來(lái)已經(jīng)很少做〉

第三級〈Level   III〉:第三級測試就與氣流無(wú)關(guān)，都是屬于環(huán)境因素。

A.照度與其均勻度
B.噪音測試
C.振動(dòng)測試
D.溫濕度測試

這里說(shuō)明NEBB所要求無(wú)塵室性能測試的各項測試程序，當然這些程序是NEBB所認定的基本要求，業(yè)主可視狀況自行修改。NEBB唯一的要求是，若是修改后的程序比較寬松，就不能說(shuō)是符合NEBB標準。

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