對于潔凈室來(lái)說(shuō)，空氣中懸浮粒子的測試無(wú)疑是最重要的檢測項目。測定潔凈室空氣中粒徑分布在0.1-5.0μm范圍內的懸浮粒子濃度，從國際標準來(lái)看其目的有：

按照國際標準ISO 14644-2對潔凈室或潔凈設備進(jìn)行檢驗（Certify）或驗證（Verify），或是按照國際標準ISO 14644-2對潔凈室的運行狀態(tài)進(jìn)行定期監測（periodic measurement）。至于測試狀態(tài)則根據需要和潔凈室實(shí)際占用情況決定，可能是空態(tài)、靜態(tài)和動(dòng)態(tài)中的任何一種。

國家標準GB 50073-2001與國際標準ISO 14644的上述規定是統一的。

如前所述，通常“空態(tài)”適用于新建或新改造的潔凈室，完成“空態(tài)”下的測試后，再在“靜態(tài)”或“動(dòng)態(tài)”下進(jìn)行達標測試，而潔凈室空氣中懸浮粒子的監測一般都是在動(dòng)態(tài)條件下進(jìn)行。

1  測試的準備工作

測試前應驗證潔凈室或潔凈區的各個(gè)方面設施都是完備的，而且運行正常，符合設計的技術(shù)性能要求。預測試工作一般包括：

1）   空氣流量或風(fēng)速測試;

2）   空氣壓差測試;

3）   隔斷結構氣密性測試;

4）   已安裝好的過(guò)濾器檢漏測試。

2  采樣點(diǎn)的位置及數量

國家標準GB 50073-2001《設計規范》和國際標準ISO14644-1《空氣潔凈度分級》中，關(guān)于潔凈室空氣中懸浮粒子測試的采樣點(diǎn)的規定是一致的。(來(lái)源:www..com)

潔凈室檢測時(shí)最少采樣點(diǎn)數按下式?jīng)Q定：

式中 NL---最少采樣點(diǎn)（四舍五入取為整數）；

       A---潔凈室或潔凈區的面積，m2；

   ISO-14644-1特別注明，對于水平單向流，面積A可以看作是與氣流運動(dòng)的截面積。

  國內外標準都強調采樣點(diǎn)應均勻分布于潔凈室或潔凈區的整個(gè)面積內，并位于工作區高度，通常距離地面0.8m。

  表2-1列出了現行國際、國內關(guān)于潔凈室檢測空氣中懸浮粒子的采樣點(diǎn)數，與早些年的國內行業(yè)標準JGJ71-90《施工及驗收規范》關(guān)于不同潔凈度潔凈室檢測時(shí)最低采樣點(diǎn)數的比較。JGJ71-90有關(guān)采樣點(diǎn)的具體規定，與已于2001年被廢止的美國聯(lián)邦標準FS-209E（1992年頒發(fā)）是相一致的。

  由表2-1還可以清楚地看到，與以往規范規定的潔凈室空氣中懸浮粒子采樣數量相比較，新的方法與潔凈室的潔凈度級別無(wú)關(guān)，僅取決于潔凈室或潔凈區面積的大小。

   而不同潔凈度級別的采樣差異，主要反映在單點(diǎn)的采樣空氣量的多少上。

注：表中面積的含義是：對于單向流（層流）潔凈室,是指送風(fēng)面面積；對于亂流潔凈室，是指房間面積。

3  各采樣點(diǎn)的單次采樣量

  當所選最大粒徑的粒子濃度處于指定的國際標準ISO 14644-1或國家標準GB 50073-2001相應的等級分級限值時(shí)（見(jiàn)本章附錄1、附錄2），要保證在每個(gè)采樣點(diǎn)的單次采樣空氣量中，至少能檢測出20個(gè)粒子，這才能滿(mǎn)足從統計學(xué)角度認定測量的可靠性，以此判定單次采樣量是否符合基本需要。此外，從采樣空氣量和采樣時(shí)間測定的可靠性考慮，也給定了下限值。所以，每一采樣點(diǎn)的單次采樣量應按下式確定：

式中 VS---每個(gè)采樣點(diǎn)單次最少采樣量，以升表示（L）；

       Cn---相關(guān)等級規定的所選最大粒徑的等級限值（pcs/m3）；

       20---假如粒子濃度處于空氣潔凈度等級限值，應被儀器測得的最少粒子數（pcs）。

舉例計算如下：

由本章附錄1可以查到各潔凈度等級相應粒徑的粒子濃度限值。

計算結果表明，若以0.3μm粒徑為檢測依據，則ISO 4級每測點(diǎn)單次采樣量為19.6L，若以0.1μm為準，則單次采樣量為2L。

關(guān)于采樣量還應注意以下三點(diǎn)：

1）為保證采樣量及采樣時(shí)間測定的可靠性，規定每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量至少為2L，采樣時(shí)間最少為1min。當按式（2.2）計算的VS或儀器的采樣時(shí)間不滿(mǎn)足上述要求時(shí)，以上述下限值為準。

2）當潔凈室、潔凈區僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，則最少在該點(diǎn)采樣3次。

3）ISO 14644還建議，如果VS值很大時(shí)，所需采樣時(shí)間偏少，則應考慮采用順序采樣程序，以減少所需采樣量及采樣時(shí)間。

4  空氣中懸浮粒子濃度的采樣及數據整理

  潔凈室空氣中懸浮粒子濃度檢測采樣時(shí)，應注意以下問(wèn)題：

1）   國際GB 50073-2001規定，應使用采樣量大于1L/min的光學(xué)粒子計數器。

2）   所選用的光學(xué)粒子計數器必須在儀器校準的有效使用期內。校準的頻度和方法應符合現行公認的規范，通常每年校準一次。

3）   使用光學(xué)粒子計數器采樣時(shí)，采樣探頭的入口應位于氣流中并朝向氣流，如果氣流方向并未受控或不可預測時(shí)，如在非單向流潔凈室，則采樣探頭的入口應垂直向上。

4）   每個(gè)采樣點(diǎn)可按所計算確定的最小采樣量采樣空氣。

4.1空氣中懸浮粒子濃度的統計計算原則

粒子濃度的統計計算，遵循以下原則：

1）   當采樣點(diǎn)數多于9個(gè)時(shí)，潔凈室空氣中懸浮粒子濃度即為各采樣點(diǎn)粒子濃度的算術(shù)平均值。

2）   當采樣點(diǎn)多于1個(gè)，但少于10個(gè)時(shí)，按下節中所述程序計算平均值、標準偏差（standard deviation）和95%置信上限UCL（upper confidence limit）。

3）   如果在每個(gè)采樣點(diǎn)測得的粒子濃度平均值以及計算所得的95%置信上限都未超過(guò)所檢測潔凈室或潔凈區的濃度限值，則認為該潔凈室或潔凈區達到了規定的潔凈度級別。

4）   如果測試計算結果未能滿(mǎn)足規定的潔凈度級別，可增加均勻分布的新采樣點(diǎn)進(jìn)行測試，對包括新增采樣點(diǎn)數據在內的數據重新計算的結果，就是確定的結論。

5）   如果95%置信上限的計算結果，未達到規定的等級是由于測量差錯或空氣中粒子濃度異常低而造成的單個(gè)限外值，則該值可以不計。（參看2.5.2節的例題）

6）   在統計分析中只考慮所引起的精神不足、隨機誤差，不考慮非隨機誤差，如校準誤差造成的偏差等。

5   潔凈度級別的計算例題

5.1例題1

  被測的潔凈室面積（A）為80m2。需要確定其在動(dòng)態(tài)下是否符合規定的空氣中懸浮粒子潔凈度等級。該潔凈室規定的空氣潔凈度等級為ISO 14644 5級或等同的GB 50073-2001 5級。

1.計算空氣中最大允許懸浮粒子濃度

建設方與承包商在潔凈室工程承包合同中，規定了所建設潔凈室

應在動(dòng)態(tài)條件下檢測0.3μm(D1)與0.5μm（D2）兩個(gè)粒徑的空氣中懸浮粒子濃度，以考核其是否達到標準。

1）   根據ISO 14644-1及GB 50071-2001國際、國內標準關(guān)于潔凈度表示方法的規定，在潔凈室潔凈度分級中設定的所選粒徑應在0.1-5μm的限值范圍內。本例所選定的兩個(gè)檢測粒徑符合上述規定，即0.1μm≤0.3μμm，0.5μm≤5μm。

2）   根據ISO 14644-1的規定，如果所選定的檢測粒徑不止一種，則相鄰的較大的粒徑（如D2）與較小的粒徑（如D1）之比至少應為1.5，即D2≥1.5D1.本例所選定的兩種檢測粒徑0.5μm≥1.5×0.3μm（0.45μm），也符合ISO 14644-1關(guān)于潔凈度分級的此項規定。國家標準GB 50073-2001，對此未作規定。

3）   計算最大允許懸浮粒子濃度。該值可以按下述步驟進(jìn)行計算，也可直接從懸浮粒子潔凈度等級劃分表查得。按照ISO 14644-1及GB 50073-2001所一致給定的懸浮粒子潔凈度等級劃分原則，每種選定粒徑的最大允許粒子濃度Cn的計算公式，如式（2-7）所列：

式中   Cn—大于或等于所選定粒子的最大允許濃度。Cn的有效數字從高位算起不超過(guò)3位（其余寫(xiě)為0），并四舍五入至最接近的整數；

        N—潔凈度等級，N的最大值為9，兩級中間范圍的等級之最小允許級差是0.1；

        D—以微米表示的所選粒徑；

        0.1—以微米計的常數。

按照式（2-7）計算所選定檢測粒徑的最大允許濃度如下：

對≥0.3μm(D1)的粒子：

從本章附錄1附表1中查找，也可得到與上述計算值相同的結果。